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測量目的

     為了維持玻璃的平坦性，必須在更寬廣的范圍內，進行的控制溫度，這是因為如果在玻璃基板內產(chǎn)生溫度差，那么將會產(chǎn)生殘留應力，而造成為彎曲等玻璃變形的，或者在切割時讓玻璃出現(xiàn)變形，影響了玻璃基板的穩(wěn)定性，并且還有可能因為殘留應力的結果，在制程中貼付偏光板之后，會產(chǎn)生光的相位差，造成LCD模組出現(xiàn)漏光的現(xiàn)象。并且應力作用會造成于玻璃表面的傷痕，也會讓基板產(chǎn)生破損的結果。

 測量方法

使用美國MTI的高精度激光位移傳感器   MTI LTC-025-02SA/SP 逆時針旋轉22.5°，如下圖所示

裝置構造

測試結果

每移動5mm測試一組數(shù)據(jù)

通過曲線擬合計算平坦度，通過以下圖形可以看出此次實驗的面板平坦度為3μm

市場應用

通過用MTI的激光位移傳感器LTC-025-02SA/SP成功測量透明材質的平坦度，從而彌補了傳統(tǒng)激光位移傳感器在透明材質或鏡面反射測量上的不足，增加了激光位移傳感器新的應用領域，拓寬了激光位移傳感器的*，且性價比相當高。