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Article光譜共焦傳感器可選量程測量距離
更新時間:2017-12-22 點擊次數:1923次
光譜共焦傳感器可選量程測量距離
光譜共焦傳感器可以實現單側厚度測量。也就是說從一側測量透明物體的厚度。緣于其光譜成分換算成距離的原理,不僅可以測厚,還可以測多層材料各層厚度。當然前提是材料透明。如果是非透明體,就需要上下安裝兩支對射測厚了。
光譜共焦傳感器產品*性能:
1.產品原理:全新的光譜共焦原理,可測量距離和厚度;
2.任何材質和表面:包括鏡面、玻璃、陶瓷、半導體、高光金屬等表面均可進行納米級測量;
3.超高精度測量:zui小線性度可達0.03μm,zui高分辨率為0.3nm;
4.光譜共焦傳感器從100μm-42mm的可選量程;
5.超高采樣頻率:2K-60KHz,用于生產線,替代人工并提高合格率;
6.測量范圍極廣,幾乎*,解決激光三角法測量無法回避的因表面材質變化或傾斜而導致測量誤差等問題,zui大可測傾角87度;
7.可進行透明工件(LCD、LCM、手機攝像頭等)多層厚度的測量,zui小可測量厚度為400nm;
8.可用于實驗室的2D輪廓測量、3D微觀形貌分析、表面粗糙度測量,到工業(yè)在線檢測、自動化控制等。