MTI 數(shù)字式電容探頭 (標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格的電容探頭以達(dá)到納米級別的分辨率并且有非常好的穩(wěn)定性) 電容位移傳感器的應(yīng)用 顯微鏡聚焦 „鏡頭的對準(zhǔn) „測量零件的外形 „測量零件的傾斜 „測量半導(dǎo)體硅片的厚度 „測量壓電平臺的位移 „測量振動 „測量電腦硬盤運行和厚度 „測量剎車盤的翹曲和厚度 „測量金屬板的厚度 „測量光伏晶圓
的特點 ● 電纜和探頭使用的的溫度范圍: -130ºC -- 200ºC (也有高溫探頭,在下一頁有介紹) ● 連接頭的使用溫度范圍: -65ºC -- 85ºC ● 精度: 高于滿量程的±0.02% (當(dāng)探頭和放大器經(jīng)過和被測物校準(zhǔn)后) ● 標(biāo)準(zhǔn)放大器濾波帶寬: 500Hz ● 可選濾波帶寬 10Hz, 100Hz, 1kHz, 2kHz, 5kHz 以及 660Hz-Bessel ● 1分辨率 RMS: (0.000423 x 濾波帶寬 Hz + 1.2) x 0.00002 x 量程 ● 探頭和電纜互換性: ± 0.5%(在沒有經(jīng)過校準(zhǔn)的情況下互換) ● 承受壓力范圍: 14MPa- (不適用于高溫探頭) ● 材料: 不銹鋼結(jié)構(gòu),內(nèi)部沒有電子元器件 ● 帶線纜的探頭,同軸電纜長度: 2.4m (可選延長線纜.)
型號 ASP-1-ILR | 量程 | 2zui大擴展量程 | 感度 | 感測直徑E | 探頭直徑D | 探頭長度L | zui小范圍 | µm 25.4 | 10 | µm/V 2.54 | mm 1.09 | mm 2.36 | mm 9.53 | µm 1.270 | ASP-2-ILR | 50.8 | 10 | 5.08 | 1.55 | 2.84 | 9.53 | 2.540 | ASP-5-ILR | 127.0 | 10 | 12.70 | 2.49 | 3.96 | 9.53 | 6.350 | ASP-10-ILR | 254.0 | 10 | 25.40 | 3.53 | 5.54 | 9.53 | 12.700 | ASP-20-ILR | 508.0 | 4 | 50.80 | 5.00 | 7.92 | 9.53 | 25.400 | ASP-50-ILR | 1270.0 | 3 | 127.00 | 7.98 | 13.87 | 9.53 | 63.500 | ASP-100-ILR | 2540.0 | 2 | 254.00 | 11.25 | 25.40 | 9.53 | 127.000 | ASP-200-ILR | 5080.0 | 2 | 508.00 | 15.93 | 38.10 | 9.53 | 254.000 |
型號 ASP-25M-CTR | 量程 | 2zui大擴展范圍 | 感度 | 感測直徑E | 探頭直徑D | 探頭長度L | zui小范圍 | µm 25.4 | 10 | µm/V 2.54 | mm 1.09 | mm 9.53 | mm 25.40 | µm 1.270 | ASP-50M-CTR | 50.8 | 10 | 5.08 | 1.55 | 9.53 | 25.40 | 2.540 | ASP-125M-CTR | 127.0 | 10 | 12.70 | 2.49 | 9.53 | 25.40 | 6.350 | ASP-250M-CTR | 254.0 | 10 | 25.40 | 3.53 | 9.53 | 25.40 | 12.700 | ASP-500M-CTR | 508.0 | 4 | 50.80 | 5.00 | 11.13 | 25.40 | 25.400 | ASP-1250M-CTR | 1270.0 | 3 | 127.00 | 7.98 | 15.88 | 25.40 | 63.500 | ASP-2500M-CTR | 2540.0 | 2 | 254.00 | 11.25 | 25.40 | 25.40 | 127.000 |
產(chǎn)品型號 ASP-1-ILA | 量程 | 2zui大擴展范圍 | 感度 | 感測直徑E | 探頭直徑D | 探頭長度L | zui小范圍 | µm 25.4 | 10 | µm/V 2.54 | mm 1.09 | mm 2.36 | mm 9.53 | µm 1.270 | ASP-2-ILA | 50.8 | 10 | 5.08 | 1.55 | 2.84 | 9.53 | 2.540 | ASP-5-ILA | 127.0 | 10 | 12.70 | 2.49 | 3.96 | 9.53 | 6.350 | ASP-10-ILA | 254.0 | 10 | 25.40 | 3.53 | 5.54 | 9.53 | 12.700 | ASP-20-ILA | 508.0 | 4 | 50.80 | 5.00 | 7.92 | 9.53 | 25.400 | ASP-50-ILA | 1270.0 | 3 | 127.00 | 7.98 | 13.87 | 9.53 | 63.500 | ASP-100-ILA | 2540.0 | 2 | 254.00 | 11.25 | 25.40 | 9.53 | 127.000 | ASP-200-ILA | 5080.0 | 2 | 508.00 | 15.93 | 38.10 | 9.53 | 254.000 |
型號 ASP-0.5-CTA | 量程 | 2zui大擴展范圍 | 感度 | 感測直徑E | 探頭直徑D | 探頭長度L | zui小范圍 | µm 12.7 | 20 | µm/V 1.27 | mm 0.74 | mm 6.35 | mm 63.50 | µm 0.635 | ASP-25M-CTA | 25.4 | 10 | 2.54 | 1.09 | 6.35 | 63.50 | 1.270 | ASP-50M-CTA | 50.8 | 10 | 5.08 | 1.55 | 6.35 | 63.50 | 2.540 | ASP-125M-CTA | 127.0 | 10 | 12.70 | 2.49 | 6.35 | 63.50 | 6.350 | ASP-250M-CTA | 254.0 | 10 | 25.40 | 3.53 | 6.35 | 63.50 | 12.700 | ASP-500M-CTA | 508.0 | 5 | 50.80 | 5.00 | 11.10 | 63.50 | 25.400 | ASP-1250M-CTA | 1270.0 | 3 | 127.00 | 7.98 | 15.88 | 63.50 | 63.500 | ASP-2500M-CTA | 2540.0 | 2 | 254.00 | 11.25 | 25.40 | 63.50 | 127.000 | ASP-5000M-CTA | 5080.0 | 2 | 508.00 | 15.93 | 38.10 | 101.60 | 254.000 | ASP-500-CTA | 12700.0 | 1 | 1270.00 | 25.22 | 82.55 | 101.60 | 635.000 |
型號 ASP-1-PCA | 量程 | 2zui大擴展范圍 | 感度 | 感測直徑E | 探頭直徑D | 探頭長度L | zui小范圍 | µm 25.4 | 10 | µm/V 2.54 | mm 1.09 | mm 2.36 | mm 2.54 | µm 1.270 | ASP-2-PCA | 50.8 | 10 | 5.08 | 1.55 | 2.84 | 2.54 | 2.540 | ASP-5-PCA | 127.0 | 10 | 12.70 | 2.49 | 3.96 | 2.54 | 6.350 | ASP-10-PCA | 254.0 | 10 | 25.40 | 3.53 | 5.54 | 2.54 | 12.700 | ASP-20-PCA | 508.0 | 4 | 50.80 | 4.98 | 7.92 | 2.54 | 25.400 | ASP-50-PCA | 1270.0 | 3 | 127.00 | 7.98 | 13.87 | 2.54 | 63.500 | ASP-100-PCA | 2540.0 | 2 | 254.00 | 11.25 | 25.40 | 2.54 | 127.000 | 型號 ASP-1-PCR | 量程 | 2zui大擴展范圍 | 感度 | 感測直徑E | 探頭直徑D | 探頭直徑L | zui小范圍 | µm 25.4 | 10 | µm/V 2.54 | mm 1.09 | mm 2.36 | mm 2.54 | µm 1.270 | ASP-2-PCR | 50.8 | 10 | 5.08 | 1.55 | 2.84 | 2.54 | 2.540 | ASP-5-PCR | 127.0 | 10 | 12.70 | 2.49 | 3.96 | 2.54 | 6.350 | ASP-10-PCR | 254.0 | 10 | 25.40 | 3.53 | 5.54 | 2.54 | 12.700 | ASP-20-PCR | 508.0 | 4 | 50.80 | 4.98 | 7.92 | 2.54 | 25.400 | ASP-50-PCR | 1270.0 | 3 | 127.00 | 7.98 | 13.87 | 2.54 | 63.500 | ASP-100-PCR | 2540.0 | 2 | 254.00 | 11.25 | 25.40 | 2.54 | 127.000 | ASP-200-PCR | 5080.0 | 2 | 508.00 | 15.93 | 38.10 | 5.08 | 254.000 |
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